STS-KZA-AINX
(Steuerungssystem für eine Sublimationsanlage zur Kristallzüchtung von Aluminiumnitrid)

• SPS
  OMRON CJ2M-CPU34
• Bus-System
  RS422, RS232, Profibus DP, Ethernet
• Bedien-PC
  i5-4570T, CPU 2,90GHz, 8GB RAM, Windows 7 Prof., 64Bit
• Schaltschrank
  Rittal TS 8
• Servo-Steller
  JAT Ecovario 414, Ecovario 114
• Safety-System
  OMRON G9SB-301-D
• Software
  OMRON CX-One, OMRON CX-Supervisor
• Steuerungsfunktionen
  Gas-/Vakuum mit Leckratenmessung
  Kühlkreisläufe, Antriebe, Generator,
  Temperaturmessung (Pyrometer)
  Alarmmanagement, Graf. Trenddarstellung von Prozessvariablen
• Betriebsarten
  Handbetrieb, Rezepturbetrieb
• Datenaufzeichnung
  CSV-Dateien
• Anlagenhersteller
  Leibniz-Institut für Kristallzüchtung im Forschungsverbund Berlin e.V.

STS-MFH2/2 

(Steuerungssystem für Czochralski-Kristallzüchtungsanlage mit "Magnetfeldheizung")

• Leistungs- und Stromregelung
• AC-, DC- und gemischter Betrieb
• einstellbare Phasenverschiebung
• Kombination zwischen Magnetfeldheizern und herkömmlichen Heizern
• Siemens SPS vom Typ S7-300
• WINCC Bedienung/Visualisierung
• Schaltschrank (1200x2000x500)mm bei 4 Heizern 
• Kopplungsmöglichkeit zur vorhandenen Anlagensteuerung
• Leistungsmodule vom Typ ... der Firma Enasys
• Graphitheizer des IKZ-Berlin
• Technische Spezifikation nach Absprache